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日开发氮化镓单晶基板量产法

作者: +关注作者 来源: 科技日报 2020-06-12 15:01 标签:
日本东北大学、日本制钢所公司和三菱化学公司合作,开发出了可量产直径2英寸以上的氮化镓单晶基板的低压酸性氨热(LPAAT)法。

  日本东北大学、日本制钢所公司和三菱化学公司合作,开发出了可量产直径2英寸以上的氮化镓单晶基板的低压酸性氨热(LPAAT)法。通过实现低压晶体生长,能以相对较小的晶体生长炉量产大型晶体。利用LPAAT法在基于SCAAT法的氮化镓籽晶上制作的2英寸长氮化镓单晶基板,具有晶体镶嵌性低(对称面和非对称面的X射线摇摆曲线半值宽度在28秒内)、基板几乎没有曲翘(曲率半径约为1.5公里)的良好晶体结构特性。
  利用LPAAT法制作的大口径、低曲翘、高纯度氮化镓单晶基板如果能普及,可靠性优异的氮化镓垂直功率晶体管就有望实现实用化。

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